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| 微电子的过去、现在和未来 |
| 严兆辉 |
| 华中科技大学电子系 湖北 武汉430074 |
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摘要 从微电子技术产生的背景、过程、取得的巨大成果及目前发展的不利因素介绍了微电子技术的历史和现状;从前沿技术方面介绍了微电子技术的发展方向;介绍了中国在微电子技术上已取得的成果和尚存在的许多问题,并阐明了中国必须大力发展微电子技术。
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| 关键词 ：
微电子技术,
历史,
现状,
发展方向,
微电子产业
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通讯作者:
严兆辉
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